主要功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电镜观察的特色，观察可以是一个样品的表面，也可以是一个切开的面，或是一个断面。可以通过拓展功能分析材料微观区域的化学成分分析和晶体结构分析。